Do triasu, v najstaršej etape Západných Karpát sa v jej priehlbine usadzovali piesočnaté a ílovité sedimenty, neskôr silne premenené - ruly, migmatity, svory, fylity, sú súčasťou jadier všetkých pohorí Vnútorných Karpát. Usadzovali sa aj tufy, neskôr spolu s bazaltmi premenené na amfibolity (V Nízkych Tatier, Malé Karpaty). Najmohutnejšie boli vyvinuté staropaleozoické komplexy vo V časti Slovenského rudohoria (gelnická a rakovecká skupina). Gelnická skupina je charakteristická flyšovou sedimentáciou a mohutným kyslým vulkanizmom, rakovecká skupina zas sedimentáciou pieskovcov a piesočnatých bridlíc, vyššie ílovitých bridlíc, sprevádzaná sopečnou činnosťou.
- Harmónska skupina – komplex tmavých ílovito-piesočnatých bridlíc. Staropaleozoické komplexy na konci devónu zvrásnené a metamorfované – prienik granitoidných hornín do vyšších častí zemskej kôry (kryštalických bridlíc). Prvé varíske horotvorné procesy – vznik Slovenského masívu stmelením Západných Karpát.
- Vrchný karbón – morská transgresia, zaliata časť Slovenského rudohoria, usadzovanie zlepencov a pieskovcov, bridlíc a vápencov. Na konci karbónu vyzdvihnutie Slovenského masívu, zvetrávaním horských chrbtov, usadzovaním a stmelením zvetralín v depresiách vznikli zlepence, droby, arkózy, bridlice; v perme sopečná činnosť, vznik paleobazaltov a tufov.
Od triasu po strednú kriedu: vznik samostatných tektonických jednotiek (pásiem). Okrajové, pieníd, tatrika, fatrika, veporika, gemerika, hronika, silicika.
- Spodný trias – regresia svetového oceánu, usadzovanie kremitých pieskovcov, kremencov a verfénskych bridlíc, pieskovcov a bridlíc.
- Stredný trias – uhličitanová sedimentácia, guttensteinské (tmavosivé až čierne) vápence a wettersteinské (svetlé a červenkasté) vápence, a dolomity.
- Vrchný trias – tektonické pohyby, splytčenie mora, usadzovanie tmavých bridlíc s vložkami pieskovcov, plytkovodných dolomitov, pestrých bridlíc atď.
- Spodná krieda – pokračovanie sedimentácie z jury, slienité vápence, sliene, vyššie bridlice, pieskovce, v plytkom mori zlepence
- Stredná krieda – karbonatická sedimentácia vystriedaná flyšovou (slienité a ílovité bridlice, pieskovce, šošovky zlepencov); koniec strednej kriedy (turón) – začali hlavné horotvorné procesy, ktorými sa vyvrásnili Vnútorné Karpaty, vznik príkrovov
Vo vrchnej kriede a v paleogéne: rozsiahlejší vývoj v predpolí Vnútorných Karpát, usadzovanie bridlíc, pieskovcov, zlepencov a púchovských slieňov v pienidnom pásme.
- Paleogén – v sedimentačnom pásme vonkajšieho flyšového pásma pokračovala sedimentácia, flyšové sedimenty vyvrásnené do príkrovov – magurská skupina, sliezsky a subsliezsky príkrov; paleogén – more zaplavovalo Vnútorné Karpaty, usadzovanie sedimentov vnútrokarpatského paleogénu, súľovské zlepence, vápence, flyšové vrstvy pieskovcov a bridlíc.
V neogéne a kvartéri: začala etapa vývoja potektonických molasových panví.
- Vrchný miocén a pliocén – vznikla Viedenská, podunajská, juhoslovenská a východoslovenská panva, neogénne sedimenty aj vo vnútorných kotlinách; tektonické pohyby – rozlámanie Karpát na bloky. Na ich južnom obvode vystupovali pozdĺž hlbinných zlomov magmatické hmoty. Hlavné fázy vulkanizmu v miocéne (báden, sarmat), záverečné fázy v pliocéne až pleistocéne, vznik sopečných pohorí so stratovulkanickou stavbou; od bádenu zdvíhanie jednotlivých pohorí pozdĺž zlomov (všetky jadrové pohoria).
- Koniec neogénu – ústup posledných zvyškov mora a jazier, vznik riečnej siete.
- Kvartér – ochladenie klímy, striedanie ľadových a medziľadových dôb, v najvyšších pohoriach ľadovce, ktoré uložili morénové sedimenty, rieky uložili glacifluviálne sedimenty, erózna činnosť a akumulácia štrkov, pieskov a ílov v nížinách a kotlinách, vietor navial hrubé vrstvy spraší a viatych pieskov, usadzovanie rašelín a travertínov.